離子氮化法具有以下一些優點：

1、由于離子氮化法不是依靠化學反應作用，而是利用離子化了的含氮氣體進行氮化處理，所以工作環境十分清潔而無須防止公害的特別設備。

2、由于離子氮化法利用了離子化了的氣體濺射作用，因而與以往的氮化處理相比可顯著的縮短處理時間（離子氮化的時間僅為普通氣體滲氮時間的1/3~1/5）。

3、由于離子氮化法利用輝光放電直接進行加熱，也無需特別的加熱和保溫設備，且可以獲得均勻的溫度分布，與間接加熱方式相比加熱效率可提高2倍以上，達到節能效果（能源消耗僅為氣體滲氮的40%~70%）。

4、由于離子氮化實在真空中進行，因而可獲得無氧化的加工表面也不損害被處理工件的表面光潔度。而且由于是在低溫下進行處理，被處理工件的變形量極小，處理后無需再進行加工，極適合于成品的處理。

5、通過調節N、H、X等氣體的比例，可自由地調節化合物層的組成，從而獲得預期的機械性能。

6、離子氮化從380℃起即可進行氮化處理，此外，對鈦等合金特殊材料也可在850℃的高溫下進行特殊的離子氮化處理，因而適應范圍十分廣泛。

7、由于離子氮化是在低氣壓下以離子注入的方式進行，因而耗氣量極少（僅為氣體滲氮的百分之幾），可以大大降低處理成本。