軟氮化處理一般指氮碳共滲。 在工件表面同時滲入氮、碳元素的工藝過程，稱為氮碳共滲。該工藝可在氣體、液體、固體等多種介質中進行。

氮和碳同時共滲與單一滲氮相出具有以下特點：

1.由于活性碳原子的存在，使滲氮速度加快，一旦表層ε相形成，將為共滲溫度下滲碳創造條件。這表明碳與氮在共滲中是相互起促進作用的。因而氮碳共滲速度遠高于單一滲氮速度。

2.在氮碳共滲化合物層ε相中：除含有氮外，還含有一定量碳(約2%)。由于ε相中含有碳，使ε相的脆性降低。這表明氮碳共滲后的白亮化合物層不呈現脆性。

Fe-N-C相圖565度時的截圖

Fe-N-C相圖565度時的截圖

3.由Fe-N-C相圖可知，氮碳共滲溫度在565℃時，有γ相存在，它能溶解0.35%C和1.8%N。快冷時,此γ（含氮碳奧氏體）淬火轉變為α'相（含氮碳馬氏體）。在緩冷時有γ相發生共析反應，形成（α+γ'）共析體，并不斷由α相中析出γ'相，使滲層硬度降低。生產實踐證明，氮碳共滲溫度采用560－570℃為佳，快冷比緩冷硬度有較大提高（約高出10HRC以上）。所以氮碳共滲時，特別是碳鋼一定采用快冷，如油冷，其原因也在此。